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COSMO科斯莫氦氣泄漏測試LDS3000

更新時間：2025-04-24      瀏覽次數：596

LDS3000 / LDS3000 AQ / P3000（XL）氦氣泄漏測試

  • 輕型緊湊型

  • 高速檢查

  • 高靈敏度

  • 用于系統集成

  • 空氣泄漏測試無法檢測到的微小泄漏可以通過使用氦氣進行檢測。


基本規格

使用氦氣的泄漏測試方法

真空方法 如何對
工件內部進行真空

  • 真空噴涂法

  • 真空罩法

加壓法 對
工件中的氦氣加壓的方法

  • 嗅探器

  • 真空鐘罩法

  • 加壓積分法

  • 轟炸方式（工件沒有加壓口時）

選擇測試方法的示例

每種測試方法的特點

此外，還提供氦氣混合器和氦氣回收裝置，以降低運行成本，因此請單獨與我們聯系。
我們將根據初始成本和運行成本提出建議。

真空法

測試方法真空噴涂法真空罩法
檢漏精度1E - 09 帕·米3/sec 或更高1E - 09 帕·米3/sec 或更高
整體測量×○
泄漏位置○×
自動化△○
初期成本○△
運行成本△△
維護成本△△
受影響的產品氦氣泄漏測試

LDS3000

加壓方式

測試
方法		真空
Bellger 法		轟炸方式嗅探器加壓積分法
泄漏檢測
精度		1E-07帕米3 /sec 或更高1E-09Pa?m3 /sec 或更高1E-06帕米3 /sec 或更高1E-05帕米3 /sec 或更高

整體測量		○○×○

泄漏位置識別		××○×
自動化○○△○
初期
成本		×○○△
運行
成本		×△××
維護成本
××△△
受影響的產品氦氣泄漏測試

LDS3000

HE-IMG-03 系列

P3000（XL） 系列

氦氣泄漏測試

LDS3000AQ

測試方法詳細信息

真空法

真空噴涂法

這是一種通過對工件內部進行真空排氣，用噴槍從外部噴射氦氣時，檢測泄漏到工件中的氦氣的方法。
真空噴涂法的概念圖

真空罩法

這是一種對工件內部進行真空抽真空并用罩蓋住，并在罩內對氦氣加壓以檢測泄漏到工件中的氦氣的方法。
真空罩法的概念圖

加壓方式

嗅探器

這是一種在對工件內部進行真空抽吸后對氦氣加壓，然后用吸槍探頭將泄漏到外部的氦氣吸出以檢測泄漏的方法。
嗅探器方法的概念圖

真空鐘罩法

這是一種將工件放置在腔室中，對工件進行抽真空，然后對氦氣加壓，對腔室內部進行抽真空以將泄漏到真空室中的氦氣排出的方法。
真空鐘罩法的概念圖

加壓積分法

這是一種將工件放入罩中，對工件進行抽真空，并對氦氣加壓，以將從泄漏點泄漏到罩內的氦氣積累一段時間，并檢測罩中積聚的氦氣（濃度）的方法。


加壓積分法概念圖

轟炸方式

這是將工件放入罐中，抽真空一定時間，用氦氣加壓一定時間，然后將工件從罐中取出，將工件放入腔室中，對腔室進行抽真空，以檢測因泄漏而進入工件的氦氣。
轟炸方法的概念圖

泄漏測試設備 加壓積分法

加壓積分法電路配置

加壓積分法電路配置的概念圖

氦氣檢漏儀 LDS3000AQ 電路配置

氦氣檢漏儀 LDS3000AQ 電路配置示意圖

氦氣檢測傳感器原理

180° 磁場脫毛質譜儀

氦氣檢測傳感器原理概念圖

  1. 進入LDS3000AQ的氦氣通過渦輪分子泵的反向擴散現象到達分析管。

  2. 到達分析儀的分子被細絲的電子轉化為 + 離子，然后通過加速電壓向 - 方向移動。

  3. + 當離子通過磁場時，軌道根據氣體的質量進行劃分。

  4. 只有帶有 + 離子的氦氣到達離子收集器，并被前置放大器放大為電流進行測量。



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