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日本東麗半導體用氧含量分析儀

日本東麗半導體用氧含量分析儀
最多可同時測量 8 個點
可以顯示從ppm級到100%的各種濃度。
非常適合安裝在半導體制造設備、真空設備等中。
傳感器直接插入（NW 法蘭 16/25/40 用于真空）

產品型號：LC-860
廠商性質：經銷商
更新時間：2025-09-04
訪問量：752

聯系電話：15510016038

日本東麗半導體用氧含量分析儀介紹：

血YANG定量計半導體、LCD 和電子元件相關應用用于半導體、電子元件的氧分析儀

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

血YANG儀 MS-500

MS-500

最多可同時測量 8 個點
可以顯示從ppm級到100%的各種濃度。
非常適合安裝在半導體制造設備、真空設備等中。
傳感器直接插入（NW 法蘭 16/25/40 用于真空）
堅固耐用的傳感器，帶有特殊涂層，更耐用

日本東麗半導體用氧含量分析儀MS-500 規格：

測量原理			氧化鋯陰影電池供電
形狀			分體式（換能器：壁掛式、傳感器：直插式）
顯示方式			數字 4 位顯示（密度顯示）
測量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20~10-0自動柜員機自動量程
重復性			± 0.5%FS以下 0-1%范圍或更高 ±1%FS或小于0.1ppm ± 小于 0-1% 范圍 0-1ppm，ATM范圍超出濃度保證范圍
測量點數			1~8
樣氣條件	壓力		10-3~200KPa（絕對壓力）
	流量		0.5~5,000mL/min或0mL/min（自發擴散狀態的測量）
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0~100°攝氏度
	其他		不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
比較氣體			大氣層
錄音機輸出			僅傳輸輸出
傳輸功率			RS-232C接口
報警輸出			沒有
預熱時間			6分鐘內
大小	MS-500 （控制器）		92 （W） × 44 （H） × 120 （D）（不包括突起部分）
	MS-510 （轉換器）		100 （W） × 40 （H） × 88 （D）（不包括突起部分）
	傳感器單元	SD16NW系列	全長：100mm（感應部分Φ11×39、機身部分Φ40×51）
		SD25NW系列	全長：100mm（感應部分Φ11×42、機身部分Φ40×48）
		SD40NW系列	全長：100mm（感應部分Φ11×41，機身部分Φ40×49）
質量	MS-500 （控制器）		約0.6Kg
	MS-510 （變壓器）		約0.5kg
	傳感器單元	SD16NW系列	約0.2Kg
		SD25NW系列	約0.2Kg
		SD40NW系列	約0.35Kg
外部連接			任何真空法蘭（NW16、25、40）
使用的電源			24VDC±10%

血YANG儀 LC-450A、LC-450D

LC-450A、LC-450D

可以顯示
從寬濃度范圍內測量的ppm水平到100%的廣泛濃度范圍。
提高傳感器耐久性氧
傳感器經過特殊處理，可提高耐久性。
交流寬電源 AC100~240VAC （LC-450A）
*LC-450D 是 DC24V 驅動
結構緊湊，易于安裝，
深度甚至比我們的傳統型號更短，而且不占用太多空間。
符合RoHS指令的產品
CE標志自我聲明的物品
EN61010-1：2002，EN61326：+A3：2003

LC-450A 規格：

測量原理			氧化鋯陰影電池供電
形狀			桌面/面板安裝
顯示方式			數字 4 位顯示（密度顯示）
測量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20~10-0自動柜員機自動量程
重復性			±在1%FS0-1ppm以內，大氣壓范圍超出濃度保證范圍
取樣方式			內置泵連續抽吸
樣氣條件	壓力		加壓小于30KPa
	流量		1,000~2,000毫升/分鐘
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0~50°攝氏度
	其他		不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
比較氣體			大氣層
錄音機輸出	氧氣濃度輸出		4-20 mA 或 0-20 mA 開關（可選 0-10 V）隔離、負載電阻 550 Ω以下記錄儀輸出范圍為滿量程，輸出與氧氣濃度成線性關系
錄音機輸出	輸出范圍		0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定范圍
傳輸功率			RS-232C接口
報警輸出	FAIL（設備錯誤）	1 分	無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下因設備異常導致觸點閉合（觸點操作可更改）
	ALM（濃度報警）	2 分（H/L）	無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下發生報警時觸點閉合（觸點操作可更改）
	RDY（預熱信號）	1 分	無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下無電壓觸點的最小開關容量為 12 V 或更高，無法處理小負載。
	MRK（范圍標記）輸出	2 積分	無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下
預熱時間			5分鐘內
大小	物質		210 （W） × 134 （H） × 300 （D） mm （不含突起部分）
質量			約6kg
氣體連接端口	入口		RC1/4型
	旁路輸出		RC1/4型
	出口		RC1/4型
使用的電源			100~240VAC， 50VA （穩態： 35VA） 50Hz/60Hz

LC-450D 規格

測量原理			氧化鋯陰影電池供電
形狀			桌面/面板安裝
顯示方式			數字 4 位顯示（密度顯示）
測量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20~10-0自動柜員機自動量程
重復性			±在1%FS0-1ppm以內，大氣壓范圍超出濃度保證范圍
取樣方式			內置泵連續抽吸
樣氣條件	壓力		加壓小于30KPa
	流量		1,000~2,000毫升/分鐘
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0~50°攝氏度
	其他		不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
比較氣體			大氣層
錄音機輸出	氧氣濃度輸出		0-10VDC，隔離，負載電阻600kΩ以上（可選：4-20mADC，隔離，負載電阻550 Ω以下）記錄儀輸出范圍為滿量程，輸出與氧氣濃度成線性關系
錄音機輸出	輸出范圍		0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定范圍
傳輸功率			RS-232C接口
報警輸出	FAIL（設備錯誤）	1 分	無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下因設備異常導致觸點閉合（觸點操作可更改）
	ALM（濃度報警）	2 分（L/LL）	無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下發生報警時觸點閉合（觸點操作可更改）
	RDY（預熱信號）	1 分	無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下預熱操作時觸點閉合（觸點操作可更改）非電壓觸點的最小開關電容大于 12 V 或 20 mA，無法處理小負載
	MRK（范圍標記）輸出	2 積分	無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下
預熱時間			5分鐘內
大小	物質		240 （W） × 134 （H） × 210 （D） mm （不含突起部分）
質量			約5kg
氣體連接端口	入口		RC1/8型
	旁路輸出		RC1/8型
	出口		RC1/8型
使用的電源			24VDC±10%， 1.25A （30VA，穩態）

血YANG儀LC-860

LC-860

低濃度測量：能夠
測量從ppb級到100%
易于操作：使用單獨的按鍵即可輕松操作
吹掃功能比較
氣體進一步穩定，可以進行更精確的測量（僅適用于具有吹掃功能的規格）
高可靠性傳感器：
傳感器內部也可進行防劣化處理（可選）

LC-860 規格：

測量原理			氧化鋯陰影電池供電
形狀			桌面/面板安裝
顯示方式			數字 6 位顯示（密度顯示）
測量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20~10-0ATM 自動/固定范圍
重復性			± 氧氣濃度小于 1 ppm和0-1 ppm，大氣壓范圍在1%FS以內均超出濃度保證范圍。
取樣方式			內置泵連續抽吸
樣氣條件	壓力		加壓小于30KPa
	流量		~1,500毫升/分鐘
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0~50°攝氏度
	其他		不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
比較氣體			大氣層
錄音機輸出	氧氣濃度輸出		4-20mA/0-10V 4-20mA：隔離、負載電阻 600 Ω以下 0-10V：絕緣，負載電阻 500 Ω以上記錄儀輸出范圍為滿量程，輸出與氧氣濃度呈線性關系
錄音機輸出	輸出范圍		0-100%、0-10%、0-1%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm、0-1ppm、10-20-10-0 或可選 4 個量程自動/固定量程
傳輸功率			RS-232C接口
報警輸出	FAIL（設備錯誤）	1 分	無電壓觸點，觸點容量24VDC/AC以下，0.1A以下因設備異常導致觸點閉合（觸點操作可更改）
	ALM（濃度報警）	2 積分	無電壓觸點，觸點容量24VDC/AC以下，0.1A以下發生報警時觸點閉合（觸點操作可更改）
	RDY（預熱信號）	1 分	無電壓觸點，觸點容量24VDC/AC以下，0.5A以下預熱操作時觸點閉合（觸點操作可更改）無壓觸點的最小開關容量為12V以上，無法處理小負載。
	MRK（范圍標記）輸出	3分	無電壓觸點，觸點容量24VDC/AC以下，0.1A以下
預熱時間			20分鐘內
大小	物質		288 （W） × 144 （H） × 400 （D） mm （不包括突起部分）
質量			約10kg
氣體連接端口	入口		RC1/8型
	旁路輸出		RC1/8型
	出口		RC1/4型
使用的電源			100~120VAC±10% 200VA 50Hz/60Hz

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日本東麗半導體用氧含量分析儀

LC-450D 規格

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